至目前DVD9铝层的溅镀工艺探讨
DVD9铝层的溅镀工艺探讨
DVD9由两片不同的基片组成,两片基片都有各自的溅镀层,这两层被分别称为DVD9的0层和1层(图1)。在DVD播放机中0层靠近播放机激光读取头,因此0层必须是半反射层,这样读取激光束才能穿透0层到达1层。1层像CD一样是全反射层,它也是用铝做溅镀层。DVD9的半反射层通常是金或硅做溅镀层, 虽然在理论上,也可以用铝溅镀半反射层,但在目前实际生产中这对再生塑料造粒机装备商而言是行不通的。
DVD9和CD一样有铝层,但DVD9和CD之间存在明显的不同,CD的读取光束穿过透明基片在铝反射层读取信息,而DVD播放机实际读取的是DVD9的因此1层的背面。这虽然不是一个重如果未来回收队伍范围继续缩减大的问题,但却意味着实际的坑点大小对读取激光而言会稍小一些(多少将取决于溅镀层的厚度),而这个问题需要在制作母盘时加以补偿(图2
另一个题是在整个坑点中溅镀层的厚度增加是不一致的 剥离强度实验机 ,在溅镀过程中,较多的铝会沉积在基片上平坦的表面,即坑底和台上,而坑壁则较少,这个因数也必须加以考虑,否则电信号将会改变。
溅镀机阴极的设计也非常重要,需要进行有效的设计以减小基片上溅镀层厚度的变化,这也是DVD9和CD溅镀工艺的重要区别。对CD而言,坑壁和坑底溅镀层厚度的不同以及溅镀GBT2975⑴998钢及钢产品力学性能实验取样位置及实验制备;层整体的均匀性相对数据处理方法满足GB228⑵002标准要求并不重要,只要有足够的铝沉积层满足反射率的要求,那么厚度只是成本的问题而不是技术问题。
0层和1层的反射率最初设定为%,但现在已降至%,因为读取激光束必须穿过0层到达1层,0层的厚度直接影响到将有多少光实际到达下一层,当读取3.摆锤扬角:90°激光束通过0层反射回播放机时,对信号的强度也有同样的影响。信号强度的衰减量不但与溅镀层厚度相关,也和所用溅镀材料的不同而随之变化。
铝的溅镀厚度沉积窗口很窄(图3),在靶材的使用寿命内,很难设计出这种阴极能达到所需的一致性,这也是为什么目前铝不适合在生产状态下使用的原因。虽然金是非常昂贵的材料,但能提供大得多的工艺窗口(图4),氮化硅(SiN)和碳化硅(SiC)也能用(其工艺窗口如图5所示)。
(待续)
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